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產(chǎn)品詳細(xì)頁(yè)
MS抗腐蝕質(zhì)量流量計(jì)
型號(hào)：MS
產(chǎn)品時(shí)間：2019/11/8 14:19:17
簡(jiǎn)要描述：
MS系列氣體質(zhì)量流量計(jì)采用補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)，內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異。用于測(cè)量非腐蝕性、潔凈、干燥氣體和部分腐蝕性氣體，同時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、體積流量、管線壓力和管線溫度，可用流量量程跨度寬，內(nèi)置130+常用氣體，包括32種腐蝕性氣體。
產(chǎn)品特點(diǎn)
量程低至0.5SCCM
寬量程比：100:1
響應(yīng)時(shí)間：100-1000ms
無(wú)需預(yù)熱時(shí)間
多功能數(shù)字顯示屏，帶摁鍵背光
內(nèi)置130+種常用氣體，包括32種腐蝕性氣體
測(cè)量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力，累積流量可選
技術(shù)參數(shù)
量程范圍：從0~0.5SCCM至0~5000SLPM（10000SLPM for H2）
可測(cè)介質(zhì)：非腐蝕性、潔凈、干燥氣體和部分腐蝕性氣體
精度：標(biāo)準(zhǔn)精度±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程，（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復(fù)性：±0.2%
測(cè)量范圍：1%~100%滿量程
溫度范圍：-10~60℃（可選高溫選項(xiàng)）
溫度精度：±0.75℃
溫度漂移：0.02%滿量程/℃
耐壓：160PSIA（更高耐壓請(qǐng)選擇MQ系列）
壓力漂移：± (0.08% of Reading + 0.02% of Full Scale) / atm from calibration conditions
壓力精度：>1atm:±0.5%讀數(shù)
<1atm:±0.07PSIA
操作壓力低至：11.5PSIA（更低壓力請(qǐng)來(lái)電垂詢）
防護(hù)等級(jí)：IP40
濕度范圍：0~95%不凝結(jié)
接液材質(zhì)：302&303不銹鋼，Viton等多種材質(zhì)
模擬信號(hào)：0-5VDC；1-5VDC；4-20mA；0-10VDC
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
數(shù)字信號(hào)：RS232；RS485
通訊協(xié)議：Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
標(biāo)準(zhǔn)電氣連接：DB9 male, 可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
供電電源：9-24VDC 40mA min（如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須12 - 24VDC）
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：默認(rèn)25℃，1atm，顯示屏上可自定義其它標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)
操作軟件：自帶操作軟件，可存儲(chǔ)、導(dǎo)出數(shù)據(jù)
更多個(gè)性化性能及選項(xiàng)請(qǐng)來(lái)電垂詢！010-87241391
訂貨參數(shù)
氣體種類(lèi)
量程范圍（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下量程）
使用壓力
使用溫度
精度要求
輸出信號(hào)
接口類(lèi)型
如需選型報(bào)價(jià)請(qǐng)來(lái)電垂詢！010-87241391