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產(chǎn)品詳細(xì)頁
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型號 |
5850E |
5860E |
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流量范圍(N2) |
3SCCM~30SLPM |
3SCCM ~ 30slpm |
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響應(yīng)時(shí)間 |
<3 sec |
<2 sec |
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精準(zhǔn)度 |
≤±1% FS |
≤±1% FS |
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重復(fù)精度 |
±0.25% FS |
±0.25% FS |
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輸入/輸出信號 |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
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供電電源 |
+15 Vdc |
+15 Vdc |
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耐壓 |
1500psi |
1500psi |
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壓差范圍 |
5~50psi |
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漏率 |
1*10E-9 atm cc/sec |
1*10E-9 atm cc/sec |
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工作環(huán)境溫度 |
0~50 °C |
0~50 °C |
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使用范圍 |
2 ~ 100% |
2~ 100% |
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接口形式 |
卡套、VCR |
卡套、VCR |